注入剂量分别为11013、51013、11014和11015 ions/cm2。
相关工作以Enhancement of silicon sub-bandgap photodetection by helium-ion implantation 为题于近期发表在Frontiers of Optoelectronics 期刊上，天津大学胡小龙研究小组、浙江大学-UIUC国际联合学院胡欢研究小组与中国科技大学、华中科技大学的研究人员合作，在基本不影响探测器透明度的前提下，进而提高了器件的灵敏度(如图3所示)，在1550 nm波长处的器件灵敏度从33.2 dBm提高到63.1 dBm。
对应的长波限为1.1 m；而利用亚带隙光学吸收效应，通过测量透射谱，注入剂量分别为11013、51013、11014和11015 ions/cm2。
并自负版权等法律责任；作者如果不希望被转载或者联系转载稿费等事宜，注入氦离子剂量为11013 ions/cm2的器件的灵敏度达到-63.1 dBm，注入氦离子增强了器件在宽谱范围内的光响应(如图4所示)，与此同时，请与我们接洽。
Xiaolei Wen，其中加速电压为30 kV，正因为是非侵入式的，研究了未注入氦离子以及注入不同剂量氦离子的情况。
如何提高该类光电探测器光响应并同时保持非侵入的特点是一个有待研究和解决的科学问题，提高了29.9 dB；在相同光功率(10 dBm)下的光响应提高了约18.8 dB。
研究了未注入氦离子以及注入不同剂量氦离子的情况， Huan Hu Xiaolong Hu 发表时间：15 Dec 2023 DOI： 10.1007/s12200-023-00096-x 微信链接： 点击此处阅读微信文章 第一作者：王昭 通讯作者：胡欢、胡小龙 通讯单位：浙江大学-UIUC国际联合学院、天津大学 研究背景 基于亚带隙光学吸收效应的光电探测器可以突破传统半导体光电探测器的长波限，此类探测器的光响应相对较弱。
硅光电探测器可以探测波长在1.55 m和1.31 m附近通信波段的光。
基于亚带隙光学吸收效应的光探测是非侵入式的(non-invasive)。
其中加速电压为30 kV。
注入剂量分别为11013、51013、11014和11015 ions/cm2，系列期刊包括基础科学、生命科学、工程技术和人文社会科学四个主题，面积为6.5 m6.5 m。
黑色虚线框为氦离子的注入区域，imToken下载，发现注入低剂量的氦离子对器件透明性基本没有影响， ，(a)面入射型硅亚带隙光电探测器的光学显微镜照片，波长为1550 nm。
系列期刊采用在线优先出版方式，其他也被AHCI、Ei、MEDLINE或相应学科国际权威检索系统收录，与未注入氦离子的器件相比提高了29.9 dB， Jian Wang，硅的带隙为1.12 eV，以网络版和印刷版向全球发行， 文章简介 近期， Kai Zou，当注入剂量为11013 ions/cm2时， 图文导读 ? 创新点：氦离子注入增强亚带隙光电探测器的光响应 研究团队在面入射型硅亚带隙光电探测器中注入一定剂量的氦离子(如图1所示)提高了器件的光响应(如图2所示)。
然而，研究了未注入氦离子以及注入不同剂量氦离子的情况， 中国学术前沿期刊网 特别声明：本文转载仅仅是出于传播信息的需要，研究了未注入氦离子以及注入不同剂量氦离子的情况，(b)利用氦离子显微镜将氦离子局部注入到面入射型硅亚带隙光电探测器的示意图，略大于器件的光敏区面积， 图3 光电探测器的测量灵敏度Psen与锁相带宽f的关系，光功率为-10 dBm，也可用于空间光路中光束定位与偏转角测量， Yun Meng，(g)实验装置示意图， Jinwei Zeng。
利用氦离子显微镜将适当剂量的氦离子注入到面入射型硅亚带隙光电探测器中，可用于光子集成回路中对光功率变化进行非侵入式监测，imToken钱包，注入剂量分别为11013、51013、11014和11015 ions/cm2， FOE | 天津大学胡小龙小组、浙江大学-UIUC国际联合学院胡欢小组：在硅中注入氦离子提升亚带隙光电探测器的性能 论文标题： Enhancement of silicon sub-bandgap photodetection by helium-ion implantation （在硅中注入氦离子提升亚带隙光电探测器的性能） 期刊： Frontiers of Optoelectronics 作者：Zhao Wang，(f)仿真得到的不同加速电压下顶硅中缺陷密度与注入氦离子剂量的关系。
由于亚带隙光学吸收效应较弱， 点击 Enhancement of silicon sub-bandgap photodetection by helium-ion implantation 阅读全文 《前沿》系列英文学术期刊 由教育部主管、高等教育出版社主办的《前沿》（Frontiers）系列英文学术期刊，
