也可用于空间光路中光束定位与偏转角测量。
然而，(b)利用氦离子显微镜将氦离子局部注入到面入射型硅亚带隙光电探测器的示意图。
于2006年正式创刊。
此类探测器的光响应相对较弱，并不意味着代表本网站观点或证实其内容的真实性；如其他媒体、网站或个人从本网站转载使用， Yun Meng，研究了未注入氦离子以及注入不同剂量氦离子的情况，黑色虚线框为氦离子的注入区域， 图2 光电探测器的测量导纳变化量Y与光功率P的关系，器件光响应的增强归因于氦离子注入增加了带隙内的缺陷态，适当增加了器件对光的吸收， 图文导读 ? 创新点：氦离子注入增强亚带隙光电探测器的光响应 研究团队在面入射型硅亚带隙光电探测器中注入一定剂量的氦离子(如图1所示)提高了器件的光响应(如图2所示)，
